溫濕度測量的目的是確認室內之溫濕度控制在范圍之內,溫濕度對微??刂茮]有甚么影響,因此溫濕度測試屬于第三級測試( Level 3
)。但是因無塵室多半同時也是環控室,所以溫濕度常常就一并測量了。溫濕度測量又分為一般測量和進階測量( General Tests and
Comprehensive Tests
),一般測量只是測量溫濕度在測量點的實時數據(單一測數據),適用在對溫濕度要求不高的場所。進階測量就要紀錄在測量點一段長時間的溫濕度,目的是要觀察溫濕度隨時間的變化情形,以確認濕度在控制之下。進階測量適用在對溫濕度要求比較高的場所。